DIC防靜電裝置1AC-P201

一、產品概述

DIC防靜電裝置1AC-P201是專為超純水環(huán)境設計的靜電控制解決方案，采用日本DIC公司的中空纖維透氣膜技術，通過二氧化碳氣體注入實現(xiàn)電阻率動態(tài)調控。該裝置有效防止靜電吸附導致的微粒污染，特別適用于半導體晶圓清洗、光罩維護等對潔凈度要求的工業(yè)場景。其柜式結構整合氣瓶存儲與傳感器監(jiān)測，支持直接連接用水點，實現(xiàn)全流程自動化控制。

二、核心特性

1. 超純水電阻率調控
   通過中空纖維膜精準釋放CO?氣體，將超純水電阻率穩(wěn)定控制在18.2 MΩ·cm以上，消除靜電引發(fā)的微粒二次附著問題。

2. 模塊化設計
   集成雙氣瓶柜體與電阻率傳感器，支持5-30 L/min流量范圍，滿足連續(xù)作業(yè)需求。

3. 環(huán)境適應性
   防護等級IP65，可在-10℃至50℃環(huán)境溫度下穩(wěn)定運行，適應潮濕、粉塵等嚴苛工況。

4. 安全防護機制
   內置過壓保護與氣路自檢功能，異常時自動切斷氣源并觸發(fā)聲光報警。

三、技術參數(shù)

四、結構設計

• 雙氣瓶柜體：采用304不銹鋼框架，單柜可容納2個標準CO?氣瓶（容積10L），配備壓力表與截止閥。

• 智能監(jiān)測模塊：集成電阻率傳感器與流量計，數(shù)據(jù)通過4-20mA模擬信號或RS485協(xié)議輸出，支持MODBUS RTU通信。

• 防震底座：橡膠減震墊設計，降低設備運行振動對超純水系統(tǒng)的干擾。

五、應用場景

1. 半導體制造
   用于晶圓濕法清洗工序，防止靜電吸附導致的光刻缺陷。

2. 光伏電池生產
   在太陽能電池片制絨環(huán)節(jié)，確保超純水清洗無微粒殘留。

3. 生物醫(yī)藥
   符合GMP認證的注射用水系統(tǒng)，避免藥品生產中的交叉污染。

六、安裝與維護

• 安裝要求：設備需水平放置于通風環(huán)境，周邊預留≥50cm維護空間；氣瓶連接需使用不銹鋼軟管。

• 日常維護：每季度更換中空纖維膜組件，每年校準傳感器；氣瓶壓力低于1MPa時需及時更換。

• 故障處理：電阻率異常時優(yōu)先檢查氣路密封性，流量不足時需清潔進水過濾器。

七、服務支持

• 認證標準：通過SEMI S2-0710半導體設備安全認證，符合ISO 14644-1 Class 3潔凈室要求。

• 質保條款：整機質保2年，核心部件（傳感器、膜組件）質保1年。

• 技術支持：提供遠程診斷與現(xiàn)場服務，緊急響應時間≤4小時